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JKZC-PRJ750型真空热压机

时间:2025-10-16 06:21:13 点击:34 次

  JKZC-PRJ750是一款真空平板热压机,专为晶圆键合、薄膜搬运和 LCP 层压规划,加热面积为 135x135mm~350x350mm。其最高作业时分的温度为 750℃,最大压力为20T~40T。

  两块块加热平板最高作业时分的温度750℃,选用高温合金制造加热元件刺进加热板的中心,以完成快速加热。

  2块加热板分别由2个温控外表独立控温,50段程序控温在加热板的顶部和底部都装置了水冷套管,以辅佐散热。进/出水管为外径12mm聚氨酯管

  5、设备有两种作业形式:手动加压和主动加压。主动加压形式下设备带有恒压功用:当压力值抵达目标值后,在保压的过程中,设备继续补压使压力保持在设定值。

  7、温度操控和压力显现:2块加热板分别由2个温控外表独立控温,50段程序控温,控温精度土3℃温度操控器具有 PID 主动校准功用、过热维护以及断热电偶维护功用。最高作业时分的温度:750℃30分钟,接连作业时分的温度700℃(情性气氛或真空环境下)最高加热速率:5℃/min

  8、温度操控和压力显现:操控面板内内置了一款数字压力计(操控器)。您能够设定所需的压力值,这样就能使电动液压机抵达压力值时主动恒压。

  (四)线、电动液压机和加热板被放置在线、真空腔体装置有一个线、便于装样品和调查:所有线、可选购装置了一个数字线Torr)丈量真空腔室的真空度

  5、需求一台循环水冷机,用于对过热的散热板进行冷却,以加速冷却速度。可选购线mTorr,分子泵体系抽线Torr

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