热式质量流量控制器呼应较慢,被丈量气体组分改变较大的场所,因cp值和热导率改变,丈量值会有较大改变而产生差错。对小流量而言,外表会给被测气体带来适当热量。关于热分布式流量计,被测气体若在管壁沉积垢层影响丈量值,要注意定时清洗。
热式质量流量控制器可丈量低流速(气体0. 02^ ~2m/s)细小流量;浸入式流量计可丈量低~中偏高流速(气体2^ 60m/s),刺进式流量计适合于大管径。其无活动部件,无分流管的热分布式外表无阻流件,压力丢失很小;带分流管的热分布式外表和浸入性外表,虽在丈量管道中置有阻流件,但压力丢失也不大。热式质量流量控制器运用性能相对牢靠。
与推导式质量流量外表比较,不需温度.传感器,压力传感器和核算单元等,仅有流量传感器,组成简略,产生毛病概率小。
热分布式外表用于H2、N2、02、CO、N0等挨近理想气体的双原子气体,不用用这些气体首要标定,直接就用空气标定的外表,试验证明不同仅2%左右;用于Ar、He等单原子气体则乘系数1.4即可;用于其他气体可用比热容换算,但误差或许稍大些。气体的比热容会跟着压力温度而变,但在所运用的温度压力邻近不大的改变可视为常数。
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